燃烧式废气处理柜（Scrubber）
处理流量：600SLM （1）基础配置 ■燃烧型自动控制； ■燃烧效率大于 99.999% ■加热腔体采用C276材质 ■各种气体独立进入 Scrubber ■混合进入的CDA及N2流量进行控制 ■进气口配单向阀、可燃气配阻火器 ■进入气体管道炉前管道自动轨道焊接 ■设备管道经涂层处理具备耐磨耐腐蚀性 ■进入气体管道炉前管道使用SS316LEP管 |
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（2）适用气体
易燃可燃性气体，如氢气（H2）, 硅烷（SiH4）, 氨气（NH3）,等
（3）应用行业
适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对燃爆气体处理的企业或实验室
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