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水洗式废气处理柜（Scrubber）
处理流量：600SLM
（1）基础配置
■水洗自动控制
■冷却水入口流量检测
■处理效率大于 99.999%
■对稀释气体流量进行控制
■各种气体独立进入 Scrubber■进气口配单向阀、可燃气配阻火器■进入气体管道炉前管道使用SS316LEP管■进入气体管道Scrubber前管道自动轨道焊接
■设备管道经涂层处理具备耐磨耐腐蚀性■循环水槽水位与漏液检测，变频循环水泵，流量最大80L/min，最大可调6米扬程
（2）适用气体
毒腐性气体，如氯气（Cl2）, 氯化氢（HCl）, 三氯化硼（BCl3）等
（3）应用行业
适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对水溶性毒腐气体处理的企业或实验室
GP4009009093
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