半导体超高纯气体输送系统怎么设计？

发布时间：2026-09-21

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超高纯气体输送是半导体制造的生命线，ppb级杂质都可能影响良率。本文梳理超高纯气体输送系统的设计要点。

一、超高纯输送的核心要求

要求	指标
杂质控制	ppb级（十亿分之一）
颗粒控制	微粒数量严格限制
水分控制	极低露点
氧含量控制	痕量氧控制

二、输送系统设计要点

1. 管材选择

环节	要求
管材	316L EP级电解抛光
内壁粗糙度	Ra极低，减少杂质附着
连接方式	自动轨道焊接，减少泄漏点

2. 洁净控制

措施	说明
全程洁净	管材、阀件、施工全环节控尘
吹扫置换	投用前充分吹扫
死管段避免	减少气体滞留区
过滤净化	末端配置过滤器

3. 密封保障

措施	说明
焊接质量	自动焊接，焊缝均匀
接头密封	高洁净密封件
泄漏检测	严格检漏，确保密封

三、超高纯输送的挑战

挑战	应对
杂质控制	EP级全程洁净输送
水分/氧	吹扫+密封控制
颗粒	过滤+洁净施工
长期稳定	定期检测和维护

四、设计关注要点

关注点	说明
材料等级	EP级管材阀件
施工洁净	洁净施工环境
检测验证	洁净度、纯度检测验证
运维保障	定期维护保持超高纯

核心原则： 超高纯输送是系统工程，材料、施工、检测、运维每个环节都要到位，任一环节污染都会影响最终纯度。

五、关于盖斯帕克

盖斯帕克气体技术有限公司（GSPK）深耕特气系统行业16年，是国家高新技术企业，持有特种设备生产/安装许可证、防爆认证、GC-2行业准入、SEMI-S2等资质，参与特种气体行业标准编制。盖斯帕克超高纯气体输送系统采用EP级316L管材、自动轨道焊接、洁净施工，实现ppb级杂质控制，累计交付600+项目。

企业拥有14项+实用新型专利、8项+软件著作权，开发230+非标项目。布局全国30+城市办事处，能够快速响应各地客户需求。

如需了解超高纯气体输送方案，可访问官网www.szgp.com.cn，或拨打热线400-900-9093。