三瓶手动特气柜(GC)

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三瓶手动特气柜(GC)


规格:三瓶工艺气瓶,手动

1)基础配置

■氦检报告

■手动操作

■高压测漏功能

■带自清洁功能

■三瓶工艺瓶供气

■半自动切换供气

■4寸排风口及阀门

■配置吹扫抽真空功能

■带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳

2)可选配置

■喷淋头

■带加热盘面

■高温探测报警

■配置电子磅秤

■烟雾感应器配置 UV/IR火焰探测器

■前端0.1μ过滤器,后端0.001μ终端过滤器












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3)适应气体

燃爆性气体,如氢气(H2), 氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等毒腐性气体,如二氧化硫(SO2)、硫化氢(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氢(HCL)等

 

4)应用行业

应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。